空調(diào)系統(tǒng)的參數(shù)取決于終端用戶及其工藝過程。低濕度既可以通過控制送風(fēng)溫度 (RH40,65,，溫度 240C)達(dá)到，也可以用干燥劑(RH30,60,，溫度 240C)滿足。而 高濕度則可通過蒸汽加濕器來維持。終端用戶和工藝過程可以決定加入到系統(tǒng)中的蒸汽質(zhì)量。 加濕蒸汽可以用工廠蒸汽，也可以用純水制備的純蒸汽，后者可以減少水汽化后進(jìn)入空氣中的粒子數(shù)量。

在非核心區(qū)，例如辦公室、走道、或存放區(qū)，空氣可以循環(huán)回到 HVAC 系統(tǒng)。而在核 心區(qū)，例如壓片、包衣、原料暫存、或其他可能會造成交叉污染的地方，則必須采用回風(fēng) HEPA 過濾器、或采用直流風(fēng)。

要使得直流風(fēng)系統(tǒng)運行更有效，必須設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)。排風(fēng)系統(tǒng)可用來維持本區(qū)域與相鄰 區(qū)域之間一定的正壓或負(fù)壓。排風(fēng)系統(tǒng)可分為兩類:

 1. 一般排風(fēng)系統(tǒng):用于平衡送風(fēng)系統(tǒng)的送風(fēng)，同時可以提供不同區(qū)域之間的負(fù)壓。

 2. 工藝排風(fēng)系統(tǒng):用于提供產(chǎn)品保護(hù)。這些隔離系統(tǒng)可以包括罩子、保護(hù)圍檔、以及手套 箱等。

其他工藝排風(fēng)系統(tǒng)包括除塵器和帶 HEPA 過濾器的集中排風(fēng)系統(tǒng)。這些排風(fēng)系統(tǒng)是 HVAC 系統(tǒng)的組成部分。過量的排風(fēng)(排風(fēng)量超過了空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量)會造成進(jìn)入空間 或建筑物的送風(fēng)失去控制。同時這種失去控制的空氣將影響區(qū)域的空氣溫度和濕度。這種滲 透將影響區(qū)域內(nèi)的空氣粒子數(shù)，因為它們并沒有經(jīng)過過濾系統(tǒng)，而是由鄰近的區(qū)域進(jìn)入，甚至直接來自室外環(huán)境。

HVAC 系統(tǒng)的設(shè)計關(guān)鍵是提供整個建筑物總體上正壓，而對于工藝核心區(qū)域則相對負(fù) 壓。必須考慮送排風(fēng)量平衡，以及降低不受控的未經(jīng)過濾空氣的影響。隨意的增加排風(fēng)系統(tǒng)， 將對整個區(qū)域條件不利，并且終將影響區(qū)域的操作參數(shù)。